LN Mini Unit 由LN單元MRE、MLE和B2MS組成。LNscope和附件組成了該系統。單獨的LN Mini Unit 安裝在不銹鋼柱子的頂部,帶有旋轉適配器,便于接觸到電極。
LN unit consists由三個Mini軸組成,使用適配器固定,形成一個完整的裝置。該裝置的設計結合了靈活性、穩定性、高分辨率和無漂移的體驗。
X軸的貼片角度可以連續調整。所有的機械部件都配備了接地點。該裝置可使用轉彎適配器、背折適配器或快速交換系統。
這種精確而可靠的機械手發明于1993年,由于我們的服務政策,第一代系統仍然在世界各地的實驗室中使用。在光學系統周圍最多可以安裝8個機械手。
規格:
XYZ方向行程:25nm
電機分辨率:4.8nm
重現性:小于1微米
重量(整機):2.2公斤
主軸導程:0.5 mm
最小可重現步長:20nm
新的Mini有修改過的Mini Compact Y軸和Z軸,移動范圍為25毫米。這不僅增加了堅固性,而且由于增加了兩個T型槽而增加了靈活性。
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